서플러스글로벌, ALD·AI 장비진단 기술 특허 확보… 반도체 장비 업사이클링 경쟁력 강화

익명2026. 06. 15. AM 09:30조회 2↗ 원문보기

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서플러스글로벌(대표 김정웅)은 반도체 제조 공정의 핵심 영역인 ALD(원자층 증착) 공정 기술과 웨이퍼 이송·로딩 기술에 대한 국내 특허 3건 등록을 완료했다고 밝혔다. 이번 특허 등록은 중고 반도체 장비의 단순 거래를 넘어 장비의 성능과 활용 가치를 높이는 ‘장비 업

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