유진테크와 반도체 공정 원자층증착(ALD) 장비 특허분쟁 중인 일본 코쿠사이의 특허 2건에 대한 판단이 확정됐다. 두 업체가 다투고 있는 코쿠사이 특허는 4건이다.14일 업계에 따르면 대법원은 지난 8일 코쿠사이의 '기판 처리장치 및 반도체 장치의 제조방법'(등록번호 10...
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'반도체 ALD 특허분쟁' 코쿠사이·유진테크, 특허 2건 판단 확정
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