반도체 소재·부품업체 티씨케이가 실리콘카바이드(SiC) 포커스링 특허 1건을 정정했다. 일반적으로 특허 무효화 가능성이 있을 때 특허권자는 특허 권리범위를 좁혀 정정한다. SiC 포커스링은 반도체 식각 공정에 사용하는 소모성 부품이다.티씨케이는 지난 2019년 디에스테크노...
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티씨케이, 반도체 식각 SiC 포커스링 특허 정정...디에스테크노 상대 분쟁
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