반도체 식각장비 상부 전극을 놓고 램리서치와 특허분쟁 중인 월덱스가 (램리서치가 특허에서 기술한) 상부 전극과 기판 사이 상관관계가 불분명하다고 주장했다. 청구항(권리범위) 내용이 명확하지 않아 특허성을 인정하기 어렵다는 주장이다. 램리서치는 월덱스가 특허 무효 증거로...
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