리튬포어스는 자회사 반도체 플라즈마 전문 기업 엘엠케이가 반도체 핵심부품 세정·재생 기술 개발을 본격 추진한다고 31일 밝혔다. 기존 반도체 공정부산물 분해 기술을 기반으로 글로벌 과불화화합물(PFAS) 규제에 대응하고 공정 수율을 개선한다는 구상이다.최근 반도체 공정이 미세화·고...
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엘엠케이, 플라즈마 기반 반도체 세정·재생 기술 개발 추진
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