한국표준과학연구원(KRISS)이 6일 반도체 주요 공정에 쓰이는 고순도 가스 15종의 순도분석기술과 시험절차를 확립하고, 측정 정확성을 확인하는 인증표준물질 6종을 개발했다고 발표했다.오상협 가스측정그룹 책임연구원은 공급업체 성적서에만 의존하던 방식에서 벗어나, 반도체 가스의 품질을 국내...
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표준연, 국산 반도체 공정용 가스 15종 ‘품질평가 체계’ 구축
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