뉴파워프라즈마와 특허분쟁 중인 미국 MKS가 특허 무효 판단을 받은 데 이어, 정정 시도도 무산됐다. 특허 정정은 무효가 될 가능성이 클 때 청구하는 절차다. 특허심판원은 지난 29일 MKS가 자사 특허 '반응가스 생성기 내의 플라즈마를 점화 및 유지하도...
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