유진테크와 반도체 공정용 원자층증착(ALD) 장비 특허분쟁 중인 일본 코쿠사이가 특허 1건에 대해 유효라는 판단을 받았다. 쟁점 특허 4건 중 특허심판원 판단이 나오지 않은 마지막 특허였다. 하지만 이 특허는 4차례 정정으로 권리범위가 좁혀졌기 때문에, 코쿠사이가 유진테크의 특허침...
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