산화물 반도체의 성능을 좌우하는 '산소 빈자리 결함' 작동 원리가 처음 밝혀졌다. 디스플레이·차세대 메모리용 소자 열처리와 박막 구조를 정하는 공정 설계에 영향을 미칠 전망이다.UNIST는 정창욱 반도체소재·부품대학원 교수 연구팀이 산화물 반도체의 산소 빈자리 결함의 성질...
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산화물 반도체 소자 성능 결정하는
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