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반도체 산업은 미세 공정 기술이 고도화되면서 장비 한 대의 민감도가 이전보다 수십 배 이상 높아졌습니다.
디스펜서, 노광기, 증착기, 식각기, 웨이퍼 검사용 장비처럼 진동과 온도, 정전기 등의 문제에 극도로 취약한 설비들은 단순 운송이 아니라 ‘환경을 통째로 옮기는 수준의 절차’가 필요합니다.
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