광섬유식 비접촉형 약액 농도 모니터 ‘CS-900F’ 출시

HORIBA 그룹의 물(수질) 및 다양한 액체 계측 사업을 담당하는 호리바 어드밴스드 테크노(본사 교토)는 광섬유식 비접촉형 약액 농도 모니터 ‘CS-900F’를 26일 출시했다고 발표했다. 반도체 웨이퍼의 세정 및 에칭 공정에서 사용되는 약액의 농도를 측정하는 ‘CS

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