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2025.05.09 07:04
'녹여서 뚫는다' 레이저앱스, 유리기판 TGV 신기술 개발
- 키워크 오래 전 2025.05.09 07:04
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'녹여서 뚫는다' 레이저앱스, 유리기판 TGV 신기술을 개발했다는 소식이 전해졌습니다. 이 기술은 플라즈마 융해(멜팅)를 이용해 반도체 유리기판의 핵심인 '글라스관통전극(TGV)'을 균열 없이 구현하는 것으로, 전기적 특성을 끌어올릴 수 있는 기대를 받고 있습니다.
반도체 유리기판을 만들 때 필수적인 TGV 공정은 매우 어려운 기술이었습니다. 기존 방식은 레이저로 구멍 틀을 잡고 식각(에칭)으로 구멍을 완성하는 방식이었는데, 이에 대한 혁신적인 해결책으로 나타났습니다. 레이저앱스의 플라즈마 융해 기술은 유리 내부에 녹는 점을 만들어 매끈하고 안정적으로 TGV 구멍을 만들어내는 것으로, 과거에 비해 훨씬 더 효율적이고 안정성이 높다고 설명됐습니다.
이번 신기술을 통해 TGV 구멍 내벽의 전기 신호 전달 특성을 개선할 수 있으며, 도금 공정에서 발생하는 빈 공간도 줄일 수 있다는 것이 기업 측의 설명입니다. 뿐만 아니라 유리 내부 결함으로 인한 불량을 최소화할 수 있어, 제조과정에서의 안정성과 품질을 높일 수 있다는 것도 주목할 만한 점입니다.
이러한 혁신적인 기술을 바탕으로 레이저앱스는 새로운 성장 동력을 얻을 것으로 기대되며, 이 기술을 활용한 TGV 공정 장비 개발에도 노력을 기울일 예정이라고 합니다. 이번 기술은 한국공학대 공용장비지원센터의 분석 결과를 통해 기술 성과를 확인받아, 미래 반도체 유리기판 제조산업의 진보와 혁신을 이끌어나갈 것으로 전망됩니다.
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