제덱스, 반도체용 정전척·스퍼터링 타겟·FOUP 파티클 검사장치 출시

반도체 파티클 제어 전문기업 제덱스(JEDEX)가 정전척(ESC)을 비롯해 스퍼터링 타겟, FOUP 등 그동안 정밀 파티클 검사가 어려웠던 공정 핵심 부품까지 분석할 수 있는 검사 시스템 ‘M802ESC’를 출시했다. M802ESC는 기존 M2000ESC의 차세대 모델

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