[현장 실무 팁] 반도체 장비 약어 정리 (알고 있으면 편함)

자유게시판

2025.04.02 18:22

[현장 실무 팁] 반도체 장비 약어 정리 (알고 있으면 편함)

반노 (211.♡.16.25) 오래 전 2025.04.02 18:22 자유 인기
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[현장 실무 팁] 반도체 장비 약어 정리 (알고 있으면 편함)

처음 배치 받고 나서 들리는 말들:
“야 저거 TEL 장비야”, “LAM 꺼 점검 들어가야 돼”, “AMAT 클린 작업해야 돼”
→ ??? 뭐라는 거임??

정리해둠. 아래만 알고 있어도 반쯤은 현장 말 알아듣는다.

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???? **LAM**
- LAM Research (미국)
- 주로 Etch(식각) 장비 많이 씀

???? **TEL**
- Tokyo Electron Limited (일본)
- 증착(Deposition), 세정(Cleaning) 장비 등 다양
- 장비 외형 깔끔하고 자동화 많이 되어 있음

???? **AMAT**
- Applied Materials (미국)
- CVD/PECVD, CMP, Etch 등 반도체 공정 거의 다 커버
- 커버 범위 제일 넓은 대기업

???? **ASM**
- ASM International (네덜란드)
- ALD(원자층 증착) 장비 강자
- 공정 미세화할수록 자주 보게 됨

???? **KLA**
- 공정 모니터링, 검사 장비 전문
- 사람은 안 타고, 장비에서만 자동 검사 진행되는 경우 많음
- 자주 고장나진 않지만, 고장나면 민감한 장비 중 하나

???? **DNS**
- Dainippon Screen (일본)
- 세정 장비 위주

???? **ASML/니콘**
- 포토(노광) 장비 브랜드
- 니콘은 주로 DRY, ASML은 WET 공정에서 쓰임
- 포토라인은 사고 나면 영향력 큼 (정확도 요구 높음)

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장비명 아는 것도 실무다.
누가 뭐라 했을 때 "그게 무슨 장비죠?" 하고 자꾸 물어보면
선배 눈빛이 바뀐다. 진심임.

※ 이 외에 현장 특유의 줄임말/코드 이름 있으면 댓글로 받아봄.